対応機種：Ｂ、YB、Ｎ

真空ダイヤフラム弁は定期的に掃除をすると、
《チャンバーが閉まらない・開放しない》などを
防ぐことができます。

�@ホースをはずす 袋ナットをスパナで回し、ホース(黒)をはずします。	�A真空ダイヤフラム弁を本体より取り外す。 継ぎ手台部にスパナがかかりますので、ダイヤフラム弁本体を取り外します。（YB型の場合はクランプ式になっています）	�B真空ダイヤフラム弁の掃除 弁座ゴム・軸のベタツキ・汚れを 温水等で洗います。汚れを取り除いて拭き取ります。
�C注油 軸部分にグリス等油脂を注油してください。	�D動作の確認 弁座を押した状態でホース口を指でふさぎます。 次にその指を離すとすぐに弁座が動く状態であればＯＫ！	�Eダイヤフラム円を本体に戻す 継手口がホースに向くようにしてください。（写真中央） ホースの取り付け（写真左）